Студенты НовГУ вынесли «Медный приговор» новгородскому предприятию
13 августа 2025, 12:24 1294
Студенты Новгородского университета реализовали проект «Медный приговор» для одного из региональных предприятий города. Они модернизировали работу его оборудования, сэкономив до 50 миллионов завода-производителя. И решили проблему неравномерного напыления слоев при серийном производстве деталей для микро- и наноэлектроники.
«Медный приговор» учащиеся НовГУ вынесли автоматизированной установке вакуумного напыления УВН 71-ПЗ для новгородского предприятия. Это оборудование наносит тонкие резистивные или металлические слои на подложку изделий для микроэлектроники и наноэлектроники. Проблема работы данной машины заключалась в том, что эти слои наносились неравномерно, что приводило к браку готовых изделий. Чтобы модернизировать эту установку необходимо было порядка 15 миллионов рублей, а заменить на новое — 50. Студенты нашли более экономически выгодный способ повысить качество наносимого материала и создали новый «образ» для установки. Они разработали специальную заслонку с отверстием специальной формы, которая предотвращает попадание излишков материала на подложку и может быть изготовлена на мощностях самого предприятия.
— Чтобы объяснить проще, как решает проблему разработка, проведу аналогию, — рассказал один из соавторов проекта, студент направления «Электроника и наноэлектроника» Дмитрий Корцов. — Представьте, что вам нужно украсить кекс сахарной пудрой в виде специального рисунка. Пудра при этом содержит некие инородные частички, примеси, которые ухудшают вкус изделия. Поэтому вы просеиваете ее через сито и посыпаете ею кекс. Однако вы замечаете, что на некоторых участках мало пудры, а на некоторых много, из-за чего качество рисунка страдает. И чтобы сделать его более равномерным, вы используете трафарет. Так и в нашем случае. Кексом выступает подложка или полупроводниковая пластина будущего изделия, например, резистора. В качестве пудры с примесями — резистивный материал, обладающий высоким электросопротивлением. В роли сита — магнетрон – грубо говоря, микроволновка, поэтому напыляемый материал будет стремится вверх с небольшим разбросом. Под качеством рисунка — качество получаемых слоев, влияющее на конечное сопротивление слоя, а, значит, и качество конечного изделия. Ведь чем толще слой, тем больше сопротивление и больше напряжения, что может негативно сказаться на других элементах изделия. И, наоборот, чем меньше слой, тем более вероятен нагрев, пробой и выход резистора из строя. Кроме того, нежелательные примеси в резистивном материале ухудшают его свойства. А заслонка будет их фильтровать.
Другим важным преимуществом данного решения стало сохранение целостности конструкции оборудования. Установка такой заслонки не требует демонтажа УВН 71-ПЗ. Она надевается на распылитель без разбора станка.
Как отметили авторы проекты, данная разработка может быть полезна всем предприятиям, которые сталкиваются с подобной проблемой в установках с аналогичной конструкцией.
Материал подготовлен при грантовой поддержке Минобрнауки России, в рамках Десятилетия науки и технологий.
